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上银晶圆机械手:专为半导体高效洁净传输打造的精密解决方案

更新时间  2025-12-24 07:14 阅读

在半导体制造这一要求极为严苛的领域,晶圆的传输与搬运是连接数百道制程的关键环节,其精度与可靠性直接关系到最终芯片的良品率。上银科技HIWIN)推出的晶圆机械手,正是针对这一核心需求所开发的高端自动化解决方案,通过深度垂直整合与精密工程技术,为半导体产业提供稳定、高效且洁净的晶圆搬运服务。

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核心技术优势:精度、洁净与垂直整合

上银晶圆机械手的核心竞争力,首先体现在其卓越的工程性能指标上。该设备采用高刚性直驱马达,实现了极高的重复定位精度,根据应用需求,精度可达±0.1mm至±0.02mm。这种精度的稳定性,确保了晶圆在数十个加工站间移动时能精确对位,从根本上避免了因移位导致的加工错乱和昂贵损失。

 

其次,针对半导体生产的特殊环境,机械手的设计充分考虑了空间效率与洁净度。其回转半径小,极大地提升了昂贵无尘室的空间使用率。同时,设备可满足高等级的洁净要求,相关组件洁净度等级可达ISO Class 3,符合半导体及光电产业对于生产环境的严苛标准。

 

更为关键的是上银所秉持的软硬件垂直整合策略。机械手内部的关键功能部件,如直驱电机、伺服电机、直线导轨与滚珠丝杠等,均由HIWIN自主研发生产,并搭配自行开发的运动控制软件。这种从核心部件到系统集成的全方位掌控,消除了外购零件间的兼容性与匹配性风险,确保了机械手在长期高速运行下的整体一致性、可靠性与性能优化,为客户提供了显著的技术附加值。

 

多元场景应用与定制化能力

上银晶圆机械手的设计充分考虑了半导体产业链的复杂需求,其应用并不仅限于单一的取放作业。

 

除了在半导体产业中执行核心的晶圆取放任务外,该技术平台还可广泛应用于光电产业(如小型面板、太阳能板的搬运)、LED产业(如蓝宝石基板、胶环的取放)等需要高精度、无污染操作的场景。这体现了其作为精密传输平台的强大适应性。

 

此外,上银科技提供深度的客制化服务。企业可以根据客户特定的生产线布局、工艺节拍和特殊功能要求,对机械手进行定制化开发与集成。这种灵活性使得该解决方案能够无缝融入从研发到量产的各类半导体制造环境中,真正提升客户的生产竞争力。

 

结语

综上所述,上银晶圆机械手并非一个标准化的单一产品,而是融合了高精密机械设计、先进运动控制与深度客制化服务的系统级解决方案。它通过确保超高的定位精度、满足严苛的洁净环境并实现软硬件的无缝整合,直击半导体制造中物料传输的痛点,成为支撑先进生产线高效、稳定运行的重要基石。

 

如需了解关于上银晶圆机械手更详细的技术参数或探讨具体的应用方案,欢迎随时通过官网 https://www.hiwiner.cn/ 或电话 15250417671 联系我们。

 


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