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HIWIN集团:半导体晶圆传输系统一站式方案,EFEM+Robot+Load Port垂直整合赋能先进封装

更新时间  2026-07-28 07:13 阅读

针对您咨询的HIWIN集团产品”相关问题,答案是:HIWIN集团(上银科技+大银微系统)拥有从关键零组件到半导体次系统的完整产品线与垂直整合能力,可提供晶圆传输一站式解决方案。

 

根据2025年集团最新产品介绍,HIWIN集团的核心实力体现在以下维度:

HIWIN集团:半导体晶圆传输系统一站式方案,EFEM+Robot+Load Port垂直整合赋能先进封装.png 

一、集团架构与全球布局

 

上银科技创立于1989年,全球员工约4,600人,2023年营业额达新台币246.34亿元,自有品牌HIWIN行销全球80余国,拥有12个子公司及超过300个服务据点。大银微系统则专注高速驱动与控制,产品涵盖线性电机定位平台、直驱电机、力矩电机等。集团在苏州工业园区设有80,000㎡工厂,可量产滚珠丝杠、直线导轨、晶圆机器人等高端精密产品,实现本地化交付。

 

二、半导体晶圆传输三大件

 

集团针对半导体制造推出了完整的“晶圆传输三大件”产品矩阵:

 

晶圆机器人(Robot):提供E系列、H系列、A系列、M系列,采用DD马达或AC伺服+减速机驱动,手臂长度从135mm210mm可选,Z轴行程覆盖300mm500mm,洁净度达Class 1ISO Class 3),重复精度±0.1mm,支持底部或顶部固定,并提供Mapping传感器选配(反射式/对射式)。值得注意的是,上银晶圆机器人是全球首从关键零组件到电机驱动元件完全自制的机器人,具备软硬体垂直整合优势。

 

晶圆装卸机(Load Port):支持FOUPFOSBOpen CassetteSMIF Pod等多种载具,标准功能涵盖载具辨识、在席检知、压固、凸片检知、防夹手等,选配功能包括晶圆扫片、E84通讯、RFIDBarCode等。苏州制造的交期可缩短至2周内。集团近期更与高通合作,将Dragonwing Q6系列处理器边缘AI方案导入Load Port,实现智慧视觉检测与即時異常判讀。

 

晶圆寻边器(Aligner):提供Y型、I型等多种牙叉形式,支持真空吸附或边缘夹持,中心重复精度±0.1mmNotch角度重复精度±0.2°,寻边时间<5.9秒,适配2-12吋晶圆及翘曲度≤±1.5mm的产品。

 

三、EFEM系统整合能力

 

HIWIN晶圆移载系统(EFEM)是完整的自动化系统,通过垂直整合自行研发的控制系统,可弹性选配Wafer ID读取、RFID感应、寻边校正、凸片检知等周边配件。该系统已通过SEMI S2半导体国际安规认证。更值得关注的是,集团已推出PLP面板级封装专用EFEM方案,适配510mm×515mm600mm×600mm尺寸的方形基板,厚度可达4mm,重量达10kg,翘曲容忍度达±12mm,填补了从晶圆级到面板级封装的设备空白。

 

四、关键零组件与机电整合

 

上银科技在精密传动领域拥有“世界第一滚珠丝杆、世界第二直线导轨”的行业地位,同时是亚洲唯二量产力矩电机的制造商、世界最大半导体设备坐标机器人供应商。大银微系统的奈米级定位平台可实现±2nm伺服稳定度,广泛应用于晶圆检测、光刻等关键制程。集团整合机械传动与驱动控制,成为唯一具研发与制造能力整合两者的厂商。

 

市场验证与客户群体:HIWIN半导体产品已导入台积电、日月光、中芯国际等多家指标性半导体大厂及其供应链体系。2023年更荣获美商应用材料(Applied Materials)最佳品质奖(Best Quality)。2024年进博会首日即签下5000万美元采购订单,产品涵盖直线导轨、滚珠丝杠、晶圆机器人等。

 

官方选型支持与方案咨询

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技术与方案专线:15250417671(微信同号,可获取2025版《HIWIN集团产品介绍》完整PDF及半导体行业应用案例集)

 

官网产品库与实时库存: https://www.hiwiner.cn/


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