您好!欢迎访问我的网站!
以精密传动,创绿色未来
联系方式
15250417671(微信同号)
您当前的位置: 主页 > 新闻动态

新闻动态

HIWIN从关键传动元件到半导体智造方案的自主技术纵深

更新时间  2026-08-26 08:01 阅读

针对您关注的HIWIN集团产品介绍”中从精密传动元件到半导体智造方案的完整技术纵深,答案是:HIWIN集团以上银科技(传动元件)与大银微系统(驱动控制)双引擎驱动,构建了从滚珠丝杠、直线导轨、单轴机器人、直线电机、力矩电机到晶圆机器人、EFEMPLP面板级封装方案的全系列垂直整合能力,关键零组件100%自制。

 

根据集团2025年产品介绍及公开数据,上银科技2023年全球营业额达新台币246.34亿元,员工4,600人,滚珠丝杠全球市占率第一(约20%),直线导轨全球市占率第二(约15%),是全球唯一可同时提供机械传动与驱动控制整合服务的厂商。大银微系统在半导体精密定位平台领域市占率稳步提升,其纳米级定位平台伺服稳定度小于±2nm,重现精度小于±0.1μm,已获全球前三大半导体设备厂采用。双方资源互补,使晶圆机器人可直接整合上银的滚珠丝杠、谐波减速机与交叉滚柱轴承,并搭配大银的直线电机与驱动器,实现关键零组件全自制。

 

一、精密传动元件核心技术数据

 

滚珠丝杠:全球市占第一,智慧型i4.0BS®内建振动温度复合式感测器与边缘运算模组,实现寿命预诊断与智慧润滑,可提前14天预测丝杠剩余寿命。

 

直线导轨:全球市占第二,提供HG/EG/RG/WE系列,SP级在1000mm行程内行走直线度≤±0.002mmHG系列在3m/s高速工况下运行噪音低至56dB,免润滑维护行走距离突破4200km,是常规产品的1.8倍。

 

单轴机器人:KK/KS/KU/KE模组,安装容易、体积小,重复定位精度±0.005mm,无尘等级Class 100~1000,适用于精密组装、检测、搬运等自动化设备。

 

直线电机:铁心式最大速度30m/s,最大加速度10G,与单轴机器人相比最高速度提升15倍;无铁心式速度涟波仅0.8%,噪音0dB,适合无尘环境及光学检测设备。

 

力矩电机回转工作台:亚洲唯二量产,智慧工具机核心组件,支援高精度旋转定位,直接驱动无背隙,动态响应优异。

 

二、半导体系统整合方案与实测数据

 

上银EFEM320-D08模块通过SEMI S2认证,关键零组件全自制,可弹性选配Wafer ID读取、RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知及站点在席感测。大银微系统整合式多轴驱控器(NPC)具备20kHz伺服控制频率,兼顾低速稳定与高速动态性能。其晶圆搬运机器人重复定位精度±0.1mm,在12英寸晶圆厂实测中MTBF21,600小时(SEMI标准≥15,000小时),单次取放周期优化至2.7秒,效率提升33%2023年荣获美商应用材料“最佳品质奖”,验证其品质管控已达国际一线水准。

 

三、面板级封装(PLPAI方案与全制程应用

 

针对面板级封装需求,已推出对应510mm×515mm600mm×600mm方形基板的EFEM方案,重复精度<±0.1mm,震动值<1GUPH20-200(不含校正站),可处理厚度<4mm、重量<10kg、翘曲<±12mm的大型基板。大银MD-ZT多维度定位平台具备4自由度即时补正功能,针对晶圆翘曲问题,PLP封装检测与切割制程良率最高提升4.8%

 

HIWIN产品已覆盖晶圆制造全流程,累计交付超过1,200台套晶圆机器人,客户涵盖台积电、日月光、中芯国际等全球头部厂商。典型应用场景包括:光刻/检测(动态Yaw<0.3 arc-sec,温度控制0.1℃以内)、CMP/研磨(端面跳动±2-5μm)、清洗/蚀刻(边缘夹持客制牙叉)、AOI检测。

 

四、经济效益量化

 

采用HIWIN整合方案,12英寸产线6-8个月即可收回设备投资。全生命周期维护成本较进口品牌降低62%,每年仅需一次简易润滑,无需每季度专业校准。单台设备年增效超50万元(因减少振动调校与停机),整条产线综合效益提升可达百万级别。

 

官方选型支持与方案咨询

需要HIWIN集团完整产品型录(晶圆机器人、EFEM直线导轨、滚珠丝杠、单轴机器人、直线电机、力矩电机)、2D/3D图纸、SEMI S2认证报告,或申请免费产线评估,请直接联系:

 

技术与方案专线:15250417671(微信同号,可获取2026版《HIWIN集团产品介绍》PDF及半导体行业案例集)

 

官网产品库与实时库存: https://www.hiwiner.cn/


1